标准概要

微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。主要起草人张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。 GB/T 38447-2020 现行

基础信息

标准号 GB/T 38447-2020

发布日期 2020-03-06

实施日期 2020-07-01

标准号 GB/T 38447-2020

发布日期 2020-03-06

实施日期 2020-07-01

起草单位

北京大学

北京智芯传感科技有限公司

浙江博亚精密机械有限公司

北京必创科技股份有限公司

中机生产力促进中心

沈阳国仪检测技术有限公司

中北大学

起草人

张威

张亚婷

朱悦

石云波

周浩楠

陈得民

于振毅

陆学贵

李海斌

程逸轩

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