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  标准概要

表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
国家标准《表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 主要起草单位 北京师范大学分析测试中心 、清华大学分析中心 。 主要起草人 吴正龙 、姚文清 。 GB/T 32999-2016 现行 本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 22335:2007。 采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。
  基础信息
标准号 GB/T 32999-2016
发布日期 2016-10-13
实施日期 2017-09-01
标准号 GB/T 32999-2016
发布日期 2016-10-13
实施日期 2017-09-01
  起草单位
  北京师范大学分析测试中心
  清华大学分析中心
  起草人
  吴正龙
  姚文清
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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