标准概要

硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。主要起草人张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩。 GB/T 32815-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32815-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

北京大学

大连理工大学

北京青鸟元芯微系统科技有限公司

中机生产力促进中心

东南大学

起草人

张大成

王玮

黄贤

何军

周再发

刘军山

李海斌

杨芳

刘冲

刘伟

李婷

姜博岩

推荐标准

GB/T 8018-2015 汽油氧化安定性的测定诱导期法

GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法

GB/T 11446.10-1997 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法

GB/T 8158.3-1987 氟化钠化学分析方法钼蓝光度法测定硅量

GB/T 2882-2005 镍及镍合金管

GB/T 8377-1987 实腹钢门、窗五金配件通用技术条件

GB/T 34477-2017 金属材料薄板和薄带抗凹性能试验方法

GB/T 13344-2019 潜孔冲击器和潜孔钻头

GB/T 42138-2022 流程型智能制造能力建设指南

GB/T 41853-2022 半导体器件微机电器件晶圆间键合强度测量

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

做团体标准需要什么条件

团体标准立项是什么意思

制定团体标准费用

决定群体规范重要性的因素有哪些

如何下载团体标准

团体标准在哪里下载

如何申请国家标准团体标准

团体保险激励方案

申请团体标准的意义

行业标准与团体标准的区别