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标准概要
俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 。 主要起草人 李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。 GB/T 31470-2015 现行
基础信息
标准号
GB/T 31470-2015
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
标准号
GB/T 31470-2015
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心
苏州晶瑞化学有限公司
中国电子技术标准化研究院
天津中环领先材料技术有限公司
起草人
李雨辰
何秀坤
李翔
刘筠
刘兵
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