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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 协鑫光电科技控股有限公司 、中国科学院上海光机所 、浙江昀丰新能源科技有限公司 。 主要起草人 魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 。 GB/T 30857-2014 现行
  基础信息
标准号 GB/T 30857-2014
发布日期 2014-07-24
实施日期 2015-04-01
标准号 GB/T 30857-2014
发布日期 2014-07-24
实施日期 2015-04-01
  起草单位
  协鑫光电科技控股有限公司
  浙江昀丰新能源科技有限公司
  中国科学院上海光机所
  起草人
  魏明德
  黄朝晖
  徐永亮
  刘逸枫
  杭寅
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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