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标准概要
硅材料原生缺陷图谱
Metallographs collection for original defects of crystalline silicon
国家标准《硅材料原生缺陷图谱》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司 、南京国盛电子有限公司 、杭州海纳半导体有公司 、万向硅峰电子股份有限公司 、四川新光硅业科技有限责任公司 、陕西天宏硅材料有限责任公司 、中国有色金属工业标准化计量质量研究所 。 主要起草人 孙燕 、曹孜 、翟富义 、杨旭 、谭卫东 、黄笑容等 。 GB/T 30453-2013 现行
基础信息
标准号
GB/T 30453-2013
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-10-01
标准号
GB/T 30453-2013
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-10-01
起草单位
有研半导体材料股份有限公司
南京国盛电子有限公司
万向硅峰电子股份有限公司
陕西天宏硅材料有限责任公司
东方电气集团峨眉半导体材料有限公司
杭州海纳半导体有公司
四川新光硅业科技有限责任公司
中国有色金属工业标准化计量质量研究所
起草人
孙燕
曹孜
谭卫东
黄笑容
翟富义
杨旭
推荐标准
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