标准概要

电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人王奕、褚连青、何秀坤、段曙光等。 GB/T 11446.9-1997 （全部代替） GB/T 11446.9-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 11446.9-2013

发布日期 2013-12-31

实施日期 2014-08-15

全部代替标准 GB/T 11446.9-1997

标准号 GB/T 11446.9-2013

发布日期 2013-12-31

实施日期 2014-08-15

全部代替标准 GB/T 11446.9-1997

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

中国电子技术标准化研究院

中国科学院半导体研究所

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

王奕

褚连青

何秀坤

段曙光

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