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标准概要
表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 主要起草单位 中山大学 、浙江大学 、中国科学院大连化学物理研究所 。 主要起草人 陈建 、张训生 、谢方艳 、龚力 、张卫红 、盛世善 。 GB/T 29557-2013 现行 本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 15969:2001。 采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量。
基础信息
标准号
GB/T 29557-2013
发布日期
2013-07-19
实施日期
2014-03-01
标准号
GB/T 29557-2013
发布日期
2013-07-19
实施日期
2014-03-01
起草单位
中山大学
中国科学院大连化学物理研究所
浙江大学
起草人
陈建
张训生
张卫红
盛世善
谢方艳
龚力
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