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标准概要
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。 主要起草人 徐建 、陆敏 、吴立敏 、朱丽娜 、辛立辉 、何丹农 、张冰 。 GB/T 28632-2012 现行 本标准等同采用ISO国际标准:ISO 18516:2006。 采标中文名称:表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定。
基础信息
标准号
GB/T 28632-2012
发布日期
2012-07-31
实施日期
2013-02-01
标准号
GB/T 28632-2012
发布日期
2012-07-31
实施日期
2013-02-01
起草单位
上海市计量测试技术研究院
纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人
徐建
陆敏
辛立辉
何丹农
吴立敏
朱丽娜
张冰
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