标准概要

硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

国家标准《硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。主要起草人夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲等。 GB/T 28275-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

东南大学

中机生产力促进中心

重庆大学

中国电子科技集团第四十九研究所

起草人

夏伟锋

熊斌

周再发

李玉玲

冯飞

戈肖鸿

推荐标准

GB/T 4728.12-2022 电气简图用图形符号第12部分：二进制逻辑元件

GB/T 34743-2017 栎木实木地板

GB/T 40789-2021 气体分析一氧化碳含量、二氧化碳含量和氧气含量在线自动测量系统性能特征的确定

GB/T 1653-2013 邻、对硝基氯苯

GB/T 41053-2021 全断面隧道掘进机土压平衡-泥水平衡双模式掘进机

GB/T 10544-2013 橡胶软管及软管组合件油基或水基流体适用的钢丝缠绕增强外覆橡胶液压型规范

GB/T 26110-2010 锌铝涂层技术条件

GB/T 45019-2024 道路用玄武岩纤维沥青混合料

GB/T 34217-2017 耐火材料高温抗扭强度试验方法

GB 4706.9-2003 家用和类似用途电器的安全剃须刀、电推剪及类似器具的特殊要求

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

养殖场标准

团体标准是地方标准吗

团体标准制定服务

团体标准宣贯

团体标准例子

团体标准范围

团体标准是什么标准

行业标准跟团体标准区别

行业标准团体标准企业标准

团体标准申报