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标准概要
真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》 由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。 主要起草单位 北京北仪创新真空技术有限责任公司 、上海曙光机械制造厂有限公司 、兰州真空设备有限责任公司 、成都南光机器有限公司 、中国航天科技集团第五研究院510研究所等 。 主要起草人 陈月增 、谢钧荣 、范立群 、孙凯 、温发兰等 。 GB/T 11164-1999 (全部代替) GB/T 11164-2011 现行
基础信息
标准号
GB/T 11164-2011
发布日期
2011-11-21
实施日期
2012-03-01
全部代替标准
GB/T 11164-1999
标准号
GB/T 11164-2011
发布日期
2011-11-21
实施日期
2012-03-01
全部代替标准
GB/T 11164-1999
起草单位
北京北仪创新真空技术有限责任公司
兰州真空设备有限责任公司
中国航天科技集团第五研究院510研究所等
上海曙光机械制造厂有限公司
成都南光机器有限公司
起草人
陈月增
谢钧荣
温发兰
范立群
孙凯
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