标准概要

氟及氟氮混合气

Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen

国家标准《氟及氟氮混合气》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。主要起草人杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓等。 GB/T 26251-2010 现行 20231009-T-469 正在审查

基础信息

标准号 GB/T 26251-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

标准号 GB/T 26251-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司

山东锐华氟业有限公司

西南化工研究设计院

上海华爱色谱分析技术有限公司

核工业理化工程研究院

起草人

杜伟华

贺国武

李建浩

李春晓

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