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  标准概要

硅单晶抛光试验片规范

Specification for polished test silicon wafers
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 。 主要起草人 宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。 GB/T 26065-2010 现行
  基础信息
标准号 GB/T 26065-2010
发布日期 2011-01-10
实施日期 2011-10-01
标准号 GB/T 26065-2010
发布日期 2011-01-10
实施日期 2011-10-01
  起草单位
  宁波立立电子股份有限公司
  杭州海纳半导体有限公司
  起草人
  宫龙飞
  何良恩
  许峰
  黄笑容
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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