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标准概要
硅单晶抛光试验片规范
Specification for polished test silicon wafers
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 。 主要起草人 宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。 GB/T 26065-2010 现行
基础信息
标准号
GB/T 26065-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
标准号
GB/T 26065-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
起草单位
宁波立立电子股份有限公司
杭州海纳半导体有限公司
起草人
宫龙飞
何良恩
许峰
黄笑容
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