标准概要

硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、高英等。 GB/T 26068-2010 废止 GB/T 26068-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

中国计量科学研究院

瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

洛阳单晶硅有限责任公司等

起草人

曹孜

孙燕

黄黎

高英

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申明

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