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标准概要
硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe
国家标准《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、宁波立立电子股份有限公司 。 主要起草人 马林宝 、骆红 、刘培东 、谭卫东 、吕立平 。 GB/T 6617-1995 (全部代替) GB/T 6617-2009 现行
基础信息
标准号
GB/T 6617-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6617-1995
标准号
GB/T 6617-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6617-1995
起草单位
南京国盛电子有限公司
宁波立立电子股份有限公司
起草人
马林宝
骆红
吕立平
刘培东
谭卫东
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