标准概要

电子工业用气体三氟化硼

Gases for electronic industry - Boron trifluoride

国家标准《电子工业用气体三氟化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。主要起草人邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云。 GB/T 14603-1993 （全部代替） GB/T 14603-2009 现行 20231009-T-469 正在审查

基础信息

标准号 GB/T 14603-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

全部代替标准 GB/T 14603-1993

标准号 GB/T 14603-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

全部代替标准 GB/T 14603-1993

起草单位

核工业理化工程研究院

西南化工研究设计院

大连光明化工研究院

起草人

邓建平

倪志强

孙福楠

周鹏云

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