标准概要

硅片直径测量方法

Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

国家标准《硅片直径测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位洛阳单晶硅有限责任公司。主要起草人刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮。 GB/T 14140.1-1993 （全部代替） GB/T 14140.2-1993 （全部代替） GB/T 14140-2009 现行 20231113-T-469 正在征求意见

基础信息

标准号 GB/T 14140-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993

标准号 GB/T 14140-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

起草人

刘玉芹

蒋建国

张静雯

冯校亮

推荐标准

GB/T 44608-2024 凹额精灵小蠹检疫鉴定方法

GB/T 18979-2003 食品中黄曲霉毒素的测定免疫亲和层析净化高效液相色谱法和荧光光度法

GB/Z 41285.6-2022 无损检测仪器密封放射性源技术应用射线防护规则第6部分：γ射线机用可移动设备的检验、维护和功能检测

GB/T 43977-2024 电子气体八氟环丁烷

GB/T 43657.1-2024 工业车辆能效试验方法第1部分：总则

GB/T 10088-1988 圆柱蜗杆模数和直径

GB/T 12004.4-2003 聚氯乙烯增塑糊表观粘度的测定 Brookfield试验法

GB/T 39136-2020 船舶上层建筑制造完整性要求

GB/T 12897-2006 国家一、二等水准测量规范

GB/T 44846-2024 塑料齿轮承载能力计算

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

行业标准和团体标准的区别是什么

如何下载团体标准

制定团体标准费用

群体规范可以规划一个人在群体中

国家标准采信团体标准

团体标准与企业标准

团体标准收费标准

团体标准立项是什么意思

团体标准属于什么级别