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标准概要
半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国电子技术标准化研究所 。 主要起草人 黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。 GB/T 24468-2009 现行 20231190-T-469 正在起草 本标准修改采用其他国际标准:SEMI E10-0304:2004。 采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范。
基础信息
标准号
GB/T 24468-2009
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
标准号
GB/T 24468-2009
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
起草单位
中国电子技术标准化研究所
起草人
黄英华
刘筠
张建勇
蒋迪宝
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