标准概要

硅多晶

Specification for polycrystalline silicon

国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨眉半导体材料厂。主要起草人罗莉萍、张辉坚、王炎。 GB/T 12963-1996 （全部代替） GB/T 12963-2009 废止 GB/T 12963-2014 （全部代替）本标准修改采用国际标准：SEMI M16-1103:2003。采标中文名称:多晶硅规范。

基础信息

标准号 GB/T 12963-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 12963-1996

标准号 GB/T 12963-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 12963-1996

起草单位

峨眉半导体材料厂

起草人

罗莉萍

张辉坚

王炎

推荐标准

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申明

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