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半导体单晶晶向测定方法

Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
国家标准《半导体单晶晶向测定方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。 主要起草人 杨旭 、何兰英 。 GB/T 1555-1997 (全部代替) GB/T 1555-2009 废止 GB/T 1555-2023 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 1555-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
废止日期 2024-03-01
全部代替标准 GB/T 1555-1997
标准号 GB/T 1555-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
废止日期 2024-03-01
全部代替标准 GB/T 1555-1997
  起草单位
  峨嵋半导体材料厂
  起草人
  杨旭
  何兰英
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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