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标准概要
电子工业用气体 5N氯化氢
Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride
国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司 、光明化工研究设计院 、信息产业部标准化四所 。 主要起草人 张吉瑞 、孙福楠 、刘筠 。 GB/T 24469-2009 废止 GB/T 14602-2014 (全部代替)
基础信息
标准号
GB/T 24469-2009
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
废止日期
2015-07-01
标准号
GB/T 24469-2009
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
废止日期
2015-07-01
起草单位
北京华宇同方化工科技开发有限公司
信息产业部标准化四所
光明化工研究设计院
起草人
张吉瑞
孙福楠
刘筠
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