标准概要

离子束蚀刻机通用技术条件

Generic specification of ion beam etching system

国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位电子部长沙半导体工艺设备所。 GB/T 15861-1995 废止 GB/T 15861-2012 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 15861-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2013-02-15

标准号 GB/T 15861-1995

发布日期 1995-12-22

实施日期 1996-08-01

废止日期 2013-02-15

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所

起草人

GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

20230558-T-604 架桥机通用技术条件

20241819-T-604 农业拖拉机通用技术条件第3部分：130 kW以上轮式拖拉机

20241772-T-604 农业拖拉机通用技术条件第2部分：50 kW～130 kW轮式拖拉机

JB/T 7542-1994 瓦楞机通用技术条件

JB 8898-1999 平衡机安全通用技术条件

JB/T 12751-2015 码垛机通用技术条件

LY/T 1128-1993 环式刨片机通用技术条件

JB/T 6258-2018 扭矩标准机通用技术条件

MT 238-1991 悬臂式掘进机通用技术条件

推荐标准

GB/T 879.2-2018 弹性圆柱销直槽轻型

GB/T 39021-2020 智能照明系统通用要求

GB/T 41123.3-2021 无损检测工业射线计算机层析成像检测第3部分：验证

GB/T 21104-2007 动物源性饲料中反刍动物源性成分（牛、羊、鹿）定性检测方法 PCR方法

GB/T 18135-2000 电气工程CAD制图规则

GB/T 24633.1-2024 产品几何技术规范（GPS）圆柱度第1部分:词汇和参数

GB/T 31077-2014 水库地震监测技术要求

GB/T 16453.2-2008 水土保持综合治理技术规范荒地治理技术

GB/T 5169.20-2006 电工电子产品着火危险试验第20部分:火焰表面蔓延试验方法概要和相关性

GB/T 7048-2003 色素炭黑黑度的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签