标准概要

纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

国家标准《纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。主要起草人顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波。 GB/T 42106-2022 现行

基础信息

标准号 GB/T 42106-2022

发布日期 2022-12-30

实施日期 2023-07-01

标准号 GB/T 42106-2022

发布日期 2022-12-30

实施日期 2023-07-01

起草单位

中国科学院物理研究所