标准概要

硅片翘曲度非接触式测试方法

Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning

国家标准《硅片翘曲度非接触式测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位洛阳单晶硅厂。 GB 6620-1986 （全部代替） GB/T 6620-1995 废止 GB/T 6620-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F657:1991。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 6620-1995

发布日期 1995-04-18

实施日期 1995-12-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 6620-1995

发布日期 1995-04-18

实施日期 1995-12-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

洛阳单晶硅厂

起草人

GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法

GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法

GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法

GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法

SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法

SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法

推荐标准

GB/T 39019-2020 定制家具组合组装标识技术要求

GB/T 39154-2020 金属和合金的腐蚀混凝土用钢筋的阴极保护

GB/T 16436.1-1996 远动设备及系统第1部分:总则第2篇:制定规范的导则

GB/T 13685-1992 建筑外门的风压变形性能分级及其检测方法

GB/T 17678.1-1999 CAD电子文件光盘存储、归档与档案管理要求第一部分:电子文件归档与档案管理

GB 4343.2-1999 电磁兼容家用电器、电动工具和类似器具的要求第2部分:抗扰度产品类标准

GB/T 1173-2013 铸造铝合金

GB/T 8157-1987 氟化钠试样的制备与贮存

GB/T 4963-1985 自由场纯音标准等响线

GB/T 1103.3-2024 棉花第3部分：天然彩色细绒棉

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

社会团体