标准概要

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中科院上海冶金研究所。 GB/T 14144-1993 废止 GB/T 14144-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F951:1987。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 14144-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 14144-1993

发布日期 1993-02-06

实施日期 1993-10-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

中科院上海冶金研究所

起草人

GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

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申明

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