标准概要

掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter

国家标准《掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海电子管二厂。 GB/T 9506.5-1988 废止 GB/T 25497-2010 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 9506.5-1988

发布日期 1988-06-25

实施日期 1988-12-01

废止日期 2011-05-01

标准号 GB/T 9506.5-1988

发布日期 1988-06-25

实施日期 1988-12-01

废止日期 2011-05-01

起草单位

上海电子管二厂

起草人

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申明

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