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  标准概要

碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
国家标准《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》 由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行 ,主管部门为中国机械工业联合会。 主要起草单位 中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 、纳狮新材料有限公司 、安徽纯源镀膜科技有限公司 、中国科学院深圳先进技术研究院 、广东电网有限责任公司 、广州今泰科技股份有限公司 。 主要起草人 段海涛 、贾丹 、曹一莹 、张心凤 、沈学忠 、高明 、詹胜鹏 、凃杰松 、王彦峰 、王流火 、杨田 、陈辉 、骆小双 、尤锦鸿 、易娟 、苏东艺 。 GB/T 44538-2024 即将实施 本标准修改采用ISO国际标准:ISO 23216:2021。 采标中文名称:碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能。
  基础信息
标准号 GB/T 44538-2024
发布日期 2024-09-29
实施日期 2025-04-01
标准号 GB/T 44538-2024
发布日期 2024-09-29
实施日期 2025-04-01
  起草单位
  中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司
  安徽纯源镀膜科技有限公司
  广东电网有限责任公司
  纳狮新材料有限公司
  中国科学院深圳先进技术研究院
  广州今泰科技股份有限公司
  起草人
  段海涛
  贾丹
  沈学忠
  高明
  王彦峰
  王流火
  骆小双
  尤锦鸿
  曹一莹
  张心凤
  詹胜鹏
  凃杰松
  杨田
  陈辉
  易娟
  苏东艺
  推荐标准
  申明
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